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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明公开了一种有机无机复合耐磨减摩涂层在聚醚醚酮表面防护中的用途。所述有机无机复合耐磨减摩涂层为沉积于聚醚醚酮表面的硅氧共掺杂非晶碳有机无机复合涂层，所述有机无机复合耐磨减摩涂层中硅的原子百分比含量为3.0‑8.0at.％，氧的原子百分比含量为2.0‑6.5at.％。本发明通过硅氧共掺杂对非晶碳涂层进行改性，不仅提升了涂层与PEEK基体间的结合力，还使PEEK表面力学性能显著提升、摩擦寿命延长、润滑性增强；此外，由于非晶碳涂层中引入硅与氧元素，涂层韧性提升，减少了裂纹产生，使其在抗腐蚀应用方面也具有极大的潜力。
主权项：1.有机无机复合耐磨减摩涂层在聚醚醚酮表面防护中的用途，其特征在于：所述有机无机复合耐磨减摩涂层为沉积于聚醚醚酮表面的硅氧共掺杂非晶碳的有机无机复合涂层，所述有机无机复合耐磨减摩涂层中硅的原子百分比含量为4.9-8.0at.%，氧的原子百分比含量为4.6-6.5at.%；所述有机无机复合耐磨减摩涂层的厚度为1.0-2.0μm；所述有机无机复合耐磨减摩涂层的制备方法包括：对聚醚醚酮的表面进行清洗、刻蚀处理；其中，所述刻蚀处理能够使聚醚醚酮表面碳原子变成不饱和碳原子，产生大量自由基；所述刻蚀处理的工艺参数包括：Ar流量为50-150sccm，腔体气压为15-30mTorr，脉冲负偏压为450-550V，刻蚀时间为5-15min；以及，采用等离子体增强化学气相沉积方法，将刻蚀处理所获聚醚醚酮置于反应腔体中，以碳源气体和六甲基二硅氧烷作为工作气体，从而在聚醚醚酮的表面沉积形成有机无机复合耐磨减摩涂层；其中，脉冲负偏压为400-500V，占空比为55-65%，沉积温度小于30℃，沉积时间为70.0-100.0min，反应腔体的气压为10-20mTorr。
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百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 有机无机复合耐磨减摩涂层在聚醚醚酮表面防护中的用途
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