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摘要：本发明涉及一种累加式纳米步进器位移测量装置和测量方法，该装置包括外框支架、辅助纳米步进器、平整样品块、微形变传感器、待测纳米步进器固定架，所述外框支架两端分别固定辅助纳米步进器和待测纳米步进器固定架，所述待测纳米步进器固定架与待测纳米步进器相适应，所述微形变传感器固定在辅助纳米步进器顶端，所述的平整样品块安装在待测纳米步进器的可移动端并且与微形变传感器的位置相对应，所述辅助纳米步进器的行走方向与待测纳米步进器的行走方向平行或共线。该装置可实现低温、强磁场、超高真空等限定空间极端物理环境中压电纳米位移台或压电纳米步进器步进位移的纳米级分辨和宏观大量程测量。
主权项：1.一种累加式纳米步进器位移测量装置，其特征在于，包括外框支架、辅助纳米步进器、平整样品块、微形变传感器、待测纳米步进器固定架，所述的外框支架两端分别固定辅助纳米步进器和待测纳米步进器固定架，所述的待测纳米步进器固定架与待测纳米步进器相适应，用于安装固定待测纳米步进器；所述微形变传感器固定在辅助纳米步进器顶端，所述的平整样品块安装在待测纳米步进器的可移动端并且与微形变传感器的位置相对应，所述辅助纳米步进器的行走方向与待测纳米步进器的行走方向平行或共线，所述平整样品块随待测纳米步进器一起运动并且两者的步进速度和步进位移均相同，所述微形变传感器随辅助纳米步进器一起运动且两者的步进速度和步进位移均相同；采用所述累加式纳米步进器位移测量装置的测量方法，包括下述步骤：1保持待测纳米步进器静止，控制辅助纳米步进器向待测纳米步进器不断步进，直至微形变传感器与平整样品块发生相互作用并且微形变传感器的测量值达到初始设定的值，辅助纳米步进器停止步进；2保持辅助纳米步进器静止，控制待测纳米步进器不断步进，直至待测纳米步进器步进预先设定的步数，待测纳米步进器停止步进；3）保持待测纳米步进器静止，控制辅助纳米步进器沿与待测纳米步进器相同或相反的方向不断步进，直至微形变传感器的测量值再次达到初始设定值；4）不断重复步骤2）～步骤3）过程；5）把步骤2）过程中微形变传感器的测量值进行分段拼接和累加，得到待测纳米步进器步进的位移。
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百度查询： 中国计量大学 一种累加式纳米步进器位移测量装置和测量方法
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