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申请/专利权人:苏州菲镭泰克激光技术有限公司
摘要:本发明公开了内置冷却流道的光轴同心式连续动态聚焦装置,其包括座体和动态聚焦模组,动态聚焦模组包括聚焦座、镜座、聚焦镜片、驱动器,座体内部有流道;直线滑轨的中心线、镜座的中心线、聚焦镜片的轴心线三者自上而下依次向聚焦座的中心靠近分布,且三者相互平行以在轴向或中心线方向的投影构成等腰三角形;镜座与驱动器的连接处的中心、镜座的中心、聚焦镜片的中心自上而下依次向所述聚焦座的中心靠近分布,且三者的中心位于同一平面上构成等腰三角形。本发明不仅能够控制镜片轴向以外的运动惯量并结合聚焦座中心线位置微调以保持光轴同心,而且采用流动式冷却流体进行热交换和流动快速带走热量,以提高光学热稳定性及动态聚焦的调整精度。
主权项:1.一种内置冷却流道的光轴同心式连续动态聚焦装置,其包括形成有激光输入通道的座体和动态聚焦模组,所述动态聚焦模组包括聚焦座、通过直线滑轨滑动安装在所述聚焦座上的镜座、轴心线与所述镜座滑动方向平行且安装于所述镜座上的聚焦镜片、驱动所述镜座往复运动的驱动器,其特征在于:所述座体内部还形成有相互连通且能够与所述动态聚焦模组进行热交换的流道,所述流道所形成的换热区域覆盖所述动态聚焦模组;所述直线滑轨的中心线、所述镜座的中心线、所述聚焦镜片的轴心线三者自上而下依次向所述聚焦座的中心靠近分布,且三者相互平行以在轴向或中心线方向的投影构成等腰三角形,其中所述镜座的中心线与所述直线滑轨的中心线之间的距离、及所述镜座的中心线与所述聚焦镜片的轴心线之间的距离分别构成等腰三角形的两条腰;所述镜座与所述驱动器的连接处的中心、所述镜座的中心、所述聚焦镜片的中心自上而下依次向所述聚焦座的中心靠近分布,且三者的中心位于同一平面上构成等腰三角形,其中所述镜座的中心与所述连接处的中心之间的距离、及所述镜座的中心与所述聚焦镜片的中心之间的距离分别构成等腰三角形的两条腰;所述聚焦镜片的轴心线与所述激光输入通道的中心线重合,所述动态聚焦模组还包括安装在所述座体上且调整所述聚焦镜片的轴心线与所述激光输入通道的中心线重合度的微调部件。
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