龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：描述了用于控制等离子体性能的方法和系统的实施例。在实施例中，一种方法可以包括以第一组功率参数向等离子体室供应功率。另外，该方法可以包括使用该第一组功率参数在该等离子体室内形成等离子体。该方法还可以包括测量以该第一组功率参数耦合到该等离子体的功率。而且，该方法可以包括以第二组功率参数向该等离子体室供应功率。该方法可以另外包括测量以到该等离子体的该第二组功率参数耦合到该等离子体的功率。该方法还可以包括至少部分地基于对以该第二组功率参数耦合的功率的测量来调整该第一组功率参数。
主权项：1.一种在用于处理衬底的系统中控制等离子体性能的方法，该方法包括：以第一组功率参数向等离子体室供应功率；使用第一组功率参数在等离子体室内形成等离子体；测量以第一组功率参数耦合到等离子体的功率；以第二组功率参数向等离子体室供应功率；测量以等离子体的第二组功率参数耦合到等离子体的功率；以及至少部分地基于对以第二组功率参数耦合的功率的测量来调整第一组功率参数，其中，测量耦合到等离子体的功率包括：至少测量谐振功率和提供至等离子体室的功率的强度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 用于控制等离子体性能的方法和系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号