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申请/专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
摘要：本发明公开了一种天车轨道和天车系统，天车轨道包括轨道本体，轨道本体的上表面用于天车的行走轮行走；侧板，侧板包括第一板、第二板和第三板，第一板和第二板相连且分别与轨道本体的上表面和外侧面相抵接，第三板布置在行走轮的外侧且自第一板与第二板的连接处向上延伸，侧板的外侧面设有自上而下向外侧倾斜第一斜面；第一块体与轨道本体连接，部分第一块体的内侧面设有与第一斜面相配第二斜面，第一斜面和第二斜面抵压。天车轨道能有效抑制微粒向半导体制造工厂内扩散，提高了工厂的清洁度。
主权项：1.一种天车轨道，其特征在于，包括：轨道本体，所述轨道本体的上表面用于天车的行走轮行走；侧板，所述侧板包括第一板、第二板和第三板，所述第一板和所述第二板相连且分别与所述轨道本体的上表面和外侧面相抵接，所述第三板布置在所述行走轮的外侧且自所述第一板与所述第二板的连接处向上延伸，所述侧板的外侧面设有自上而下向外侧倾斜第一斜面；第一块体，所述第一块体与所述轨道本体连接，部分所述第一块体的内侧面设有与所述第一斜面相配第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面抵压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海果纳半导体技术有限公司 一种天车轨道和天车系统
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