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申请/专利权人：无锡颂林达科技有限公司
摘要：本实用新型涉及吹扫装置技术领域，具体为一种间歇式晶圆吹扫系统的过滤结构，包括晶圆吹扫系统主体，过滤组件的内部固定安装有第一过滤层，第一过滤层的下方固定安装有第二过滤层，第二过滤层的右侧安装有出风连接口，第二过滤层的下方固定安装有高温燃烧室，高温燃烧室的下方固定安装有温度控制器，温度控制器的输出端开设有出料管道，通过吹扫组件将杂物清理入下方，第一过滤层及第二过滤层对粉尘进行处理，经过多层过滤后杂物再进入高温燃烧室，温度控制器控制高温燃烧室进行温度升高，将细小的粉尘等通过高温烧除，同时出料管道吹出的风也被加热，与连接管道进行连接安装，对吹扫清理区进行热风处理，使其更快完成吹扫作业。
主权项：1.一种间歇式晶圆吹扫系统的过滤结构，包括晶圆吹扫系统主体（1），其特征在于：所述晶圆吹扫系统主体（1）的下方固定安装有过滤组件（2），所述过滤组件（2）的内部固定安装有第一过滤层（21），所述第一过滤层（21）的下方固定安装有第二过滤层（22），所述第二过滤层（22）的右侧安装有出风连接口（23），所述第二过滤层（22）的下方固定安装有高温燃烧室（24），所述高温燃烧室（24）的下方固定安装有温度控制器（26），所述温度控制器（26）的输出端开设有出料管道（25）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡颂林达科技有限公司 一种间歇式晶圆吹扫系统的过滤结构
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