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申请/专利权人：东北大学

摘要：本实用新型涉及一种基于压电陶瓷并联驱动的三维平台，包括基座、运动台、支撑架、检测单元和压电驱动单元；运动台包括输出平台、导向杆、操纵圆盘、球窝轴承和球窝轴承固定套环，导向杆连接输出平台与操纵圆盘，球窝轴承内圈套在导向杆上，球窝轴承外圈固定嵌装在球窝轴承固定套环内；支撑架用于连接球窝轴承固定套环与基座；输出平台与支撑架通过偏置弹簧相连；压电驱动单元包括压电陶瓷堆栈、导轨滑块、驱动头、预紧弹簧、磁性组件和包围框架，磁性组件固定在压电陶瓷堆栈输出端，且抵于预紧弹簧端；检测单元包括激光位移传感器和测点装置，激光位移传感器固定在基座上，测点装置固定在导轨上；本实用新型实现了运动平台的宏微跨尺度精密运动。

主权项：1.一种基于压电陶瓷并联驱动的三维平台，其特征在于，包括基座1、运动台2、支撑架3、检测单元4和压电驱动单元7；所述运动台2包括输出平台23、导向杆22、操纵圆盘20、球窝轴承21和球窝轴承固定套环5；所述导向杆22两端分别固定安装在输出平台23和操纵圆盘20中心，所述球窝轴承21的内圈套装在导向杆22上，所述球窝轴承21的外圈嵌装在球窝轴承固定套环5内，所述输出平台23能够相对球窝轴承固定套环5进行360°转动；所述支撑架3包括三组子支撑单元，每组子支撑单元由一个个横向支架和一个纵向支架组成，所述三组子支撑单元中的三个横向支架沿圆周方向呈120°分布；所述横向支架和纵向支架间呈90°固定连接；所述纵向支架分别固定在基座1三个对称分布的分支a18上；所述横向支架与球窝轴承固定套环5沿圆周方向固连；所述输出平台23边缘与支撑架3通过偏置弹簧24固连；所述偏置弹簧24另一端固连在横向支架中心，且偏置弹簧24呈预拉伸状态；所述压电驱动单元7包括压电陶瓷堆栈15、导轨10、滑块12、驱动头6、预紧弹簧13、磁性组件14和包围框架11；所述包围框架11底面固定在基座1上；所述压电陶瓷堆栈15一端固定在包围框架前壁16，另一端与磁性组件14中心固定；所述预紧弹簧13置于包围框架后壁17与磁性组件14之间，所述预紧弹簧13、磁性组件14与压电陶瓷堆栈15的中心位于同一条水平轴线上；所述滑块12固定在包围框架11的底面，所述驱动头6固定于导轨10前端，所述磁性组件14紧贴在导轨10上方，通过摩擦带动所述导轨10运动；所述压电陶瓷堆栈15能够驱动磁性组件14双向运动，并使磁性组件14通过摩擦带动所述导轨10实现双向运动；所述检测单元4包括3组导轨位移检测装置，每组检测装置包含一个激光位移传感器8和一个测点装置9，所述激光位移传感器8固定在基座1上，所述测点装置9固定在导轨10后端，每组导轨位移检测装置中的激光位移传感器8和测点装置9均安装在同一径向轴线上；通过检测所述压电驱动单元7的直线输出计算三维平台的转动。

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