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申请/专利权人:通奥检测集团股份有限公司
摘要:本申请提供一种氦气浓度监测系统及气密封检测装置,涉及气密封检测技术领域。其中,该氦气浓度监测系统包括:三通连接件,分别连通第一支路、第二支路和第三支路,所述第一支路用于连接气源,所述气源用于提供氮气和氦气的混合气体;氦气浓度检测仪,连接于所述第二支路的检测口,用于检测所述混合气体中的氦气浓度值,且所述第二支路的出口端为气体放空口;储能器,其入口端与所述第三支路连通,所述储能器的出口端通过第四支路与检测工具连通。
主权项:1.一种氦气浓度监测系统,其特征在于,包括:三通连接件2,分别连通第一支路21、第二支路22和第三支路23,所述第一支路21用于连接气源1,所述气源1用于提供氮气和氦气的混合气体;氦气浓度检测仪3,连接于所述第二支路22的检测口22a,用于检测所述混合气体中的氦气浓度值,且所述第二支路22的出口端为气体放空口22b;储能器4,其入口端与所述第三支路23连通,所述储能器4的出口端通过第四支路5与检测工具6连通。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 通奥检测集团股份有限公司 氦气浓度监测系统及气密封检测装置
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