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申请/专利权人：江苏凯威特斯半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种关于CVDShowerHead部件的清洗方法，属于半导体零部件清洗技术领域。该清洗方法包括：吹扫；异丙醇溶液中浸泡；清洗液浸泡；KOH水溶液浸泡；酸液浸泡；超声处理；烘干等操作。该方法可以有效去除产品表面及孔洞内部的污染物，并且可以有效控制产品表面金属离子浓度，并且有效保持产品的紧密度，清洗过程中对产品母材造成的损伤很小，还可以及时检测出产品状态，使产品可循环使用次数增多。
主权项：1.一种CVDShowerHead超高清洗工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：使用气流对CVDShowerHead表面及孔洞内部进行吹扫；步骤二：将步骤一吹扫后的部件放入异丙醇溶液中浸泡，再对部件表面、侧面台阶及孔洞周围进行擦拭；步骤三：对步骤二擦拭后的部件表面及孔洞进行冲洗；步骤四：将步骤三冲洗后的部件浸泡到清洗液，然后冲洗；所述清洗液，按质量分数计算，由以下组分组成：柠檬酸钠1.5份，二乙二醇乙醚3.0份，异己二醇2.0份，非离子表面活性剂4.5份，阳离子表面活性剂1.5份，水87.5份；所述非离子表面活性剂，按质量分数计算，由以下组分组成：脂肪醇聚氧乙烯醚5份，壬基酚聚氧乙烯醚10份，水85份；所述阳离子表面活性剂为，按质量分数计算，由以下组分组成：十二烷基二甲基苄基氯化铵5.0份，十六烷基三甲基氯化铵4.5份，聚季铵盐-115.0份，水85.5份；步骤五：将经步骤四处理后的部件浸泡到KOH水溶液中，浸泡完成后进行清洗；所述KOH水溶液的质量浓度为5%；步骤六：将经步骤五处理后的部件浸泡酸液中，浸泡完成后进行清洗；步骤七：将经步骤六处理后的部件浸泡到酸蚀液中，浸泡完成后进行清洗；步骤八：将经步骤七处理后的部件吹干，用雪花干冰清洗部件表面孔径；步骤九：将经步骤八处理后的部件放置于溢流装置中进行溢流，之后吹干；步骤十：将经步骤九处理后的部件进行超声处理，之后吹干；步骤十一：将经步骤十处理后的部件进行烘干，冷却，得到清洗干净的CVDShowerHead。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 一种关于CVD Shower Head部件的清洗方法
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