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申请/专利权人：大连地拓精密科技股份有限公司

摘要：本发明提供一种基于磁‑气可变刚度三自由度隔振器，包括顶板、第一空气弹簧、竖向活塞和竖向摆杆，所述竖向活塞内部安装有竖向摆杆，所述竖向活塞外侧安装有第二空气弹簧，所述第二空气弹簧外侧前、后、左、右分别安装有横向空气弹簧。本发明隔振器可以实现上下、左右、前后三个自由度隔振，且隔振带宽，可以实现0.1Hz~300Hz的振动控制，定位精确，可以适应于不同型号的精密仪器，最大承重可达5000kg，适用范围广，通用性强。

主权项：1.一种基于磁-气可变刚度三自由度隔振器，包括顶板、第一空气弹簧、竖向活塞和竖向摆杆，其特征在于，所述第一空气弹簧包括底板，所述底板顶部四周垂直焊接有竖板A，所述竖板A顶部内侧连接有支撑板，所述支撑板与竖板A之间通过气膜A连接，所述支撑板顶部中间安装有垫块，所述竖板A顶部焊接有方环形支撑板A，所述垫块顶部与竖向活塞底部连接，所述竖向活塞内部安装有竖向摆杆，所述竖向摆杆顶部与顶板底部中间连接，所述竖向活塞外侧安装有第二空气弹簧，所述第二空气弹簧与第一空气弹簧通过气孔连通，所述第二空气弹簧外侧前、后、左、右分别安装有横向空气弹簧，所述方环形支撑板A顶部靠近内环位置垂直焊接有方形筒，所述方形筒内侧靠近底部安装有挡块，所述挡块与垫块之间安装有下气膜，所述方形筒顶部垂直焊接有方环形支撑板B，所述方环形支撑板B顶部靠近外侧安装有支撑块，所述竖向活塞上部连接有方环形支撑板C，所述方环形支撑板C与支撑块之间连接有上气膜，所述方环形支撑板A与方环形支撑板B之间安装有横向活塞，所述横向活塞与方环形支撑板A、方环形支撑板B之间连接有横向气膜，所述横向活塞内部垂直安装有横向摆杆，所述横向摆杆另一端垂直焊接有竖板B，所述竖板B顶部与顶板底部垂直焊接，所述方环形支撑板C底部左右两侧分别安装有永磁体A，所述方环形支撑板B顶部左右两侧与永磁体A垂直对应位置安装有电磁铁A，所述横向活塞内部上下位置分别安装有永磁体B，所述方形筒外侧上下与永磁体B同一水平方向上安装有电磁铁B，所述支撑块顶部安装有竖向音圈电机，所述竖向音圈电机顶部与顶板底部连接，所述支撑块外侧安装有横向音圈电机，所述横向音圈电机顶部与竖板B垂直连接，所述方形环支撑板A上还安装有控制器，所述顶板底部还安装有加速度传感器和位置传感器。

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