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一种装夹装置、装夹方法及镀膜设备 

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申请/专利权人:吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司

摘要:本发明涉及一种装夹装置、装夹方法及镀膜设备。该装夹装置包括:承载机构,用于承载料盒,料盒用于装载待镀膜件;定位机构,用于对其上的待镀膜件进行定位;装夹机构,用于承载挂具,挂具用于装夹待镀膜件;及搬运机构,用于将料盒内的待镀膜件搬运至定位机构上,还用于将定位机构上的待镀膜件搬运至挂具上。如此,本申请的装夹装置能够自动完成待镀膜件的转移、定位和装夹,无需人工参与,大大提高了自动化程度,大大降低了待镀膜件掉落或磕碰的风险。

主权项:1.一种装夹装置,其特征在于,包括:承载机构10,用于承载料盒,所述料盒用于装载待镀膜件;定位机构20,用于对其上的待镀膜件进行定位;装夹机构30,用于承载挂具A,所述挂具A用于装夹待镀膜件;及搬运机构40,用于将所述料盒内的待镀膜件搬运至所述定位机构20上,还用于将所述定位机构20上的待镀膜件搬运至所述挂具A上。

全文数据:

权利要求:

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