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申请/专利权人：中科艾尔(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体设备用阀体密封工装领域，公开了一种一体化密封圈限位锁紧工装，其包括：套筒，设置在阀体顶部端面上，嵌入阀体顶部的阀体凹台内；传动结构，其一端与位于工装外部的动力源连接，传动结构的另一端位于套筒内，用于为整个工装提供驱动力；限位锁紧结构，设置在套筒内，限位锁紧结构的顶部经连杆与传动结构连接，限位锁紧结构的底部位于阀体顶部待安装密封圈的密封槽处。本发明能实现密封圈组装步骤中的限位锁紧连贯式进行，组装期间无需拆卸替换工装，可提高组装效率，并保证组装效果的一致性。
主权项：1.一种一体化密封圈限位锁紧工装，其特征在于，包括：套筒600，设置在阀体700顶部端面上，嵌入阀体700顶部的阀体凹台内；传动结构，其一端与位于工装外部的动力源连接，传动结构的另一端位于套筒600内，用于为整个工装提供驱动力；限位锁紧结构，设置在套筒600内，限位锁紧结构的顶部经连杆400与传动结构连接，限位锁紧结构的底部位于阀体700顶部待安装密封圈800的密封槽处。
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权利要求：
百度查询： 中科艾尔(北京)科技有限公司 一种一体化密封圈限位锁紧工装
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