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镜装置 

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申请/专利权人:浜松光子学株式会社

摘要:镜装置具备形成有在配置面开口的凹部的基底部、配置于凹部内的磁体部、具有镜面的镜单元、在第二表面配置于配置面上的框部件、以及窗部件。窗部件相对于镜面倾斜。在框部件的第二表面形成有突起部。在从Z方向观察的情况下,突起部配置于磁体部和凹部的开口缘之间。框部件的第一表面中、在Z方向上与突起部重叠的部分成为相对于镜面倾斜的倾斜面,在该倾斜面上配置有窗部件。

主权项:1.一种镜装置,其中,具备:基底部,其具有配置面,且形成有在所述配置面开口的凹部;磁体部,其配置于所述凹部内;镜单元,其具有构成为能够绕规定的轴线摆动的可动部、设置于所述可动部且所述磁体部产生的磁场进行作用的线圈、及设置于所述可动部上的镜面,且配置于所述磁体部上;框部件,其具有朝向第一方向上的一侧的第一表面、及朝向所述第一方向上的另一侧的第二表面,在所述第二表面配置于所述基底部的所述配置面上;以及窗部件,其配置于所述框部件上,所述框部件具有第一壁部、和在与所述第一方向垂直的第二方向上与所述第一壁部相对的第二壁部,所述第一壁部的高度比所述第二壁部的高度低,所述窗部件配置于所述第一壁部的顶面上及所述第二壁部的顶面上,相对于所述镜面倾斜,在所述框部件的所述第二表面形成有突起部,在从所述第一方向观察的情况下,所述突起部配置于所述磁体部和所述凹部的开口缘之间,所述框部件的所述第一表面中、在所述第一方向上与所述突起部重叠的部分的至少一部分成为相对于所述镜面倾斜的倾斜面,在所述倾斜面上配置有所述窗部件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浜松光子学株式会社 镜装置

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