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申请/专利权人：盛吉盛半导体科技(北京)有限公司
摘要：本发明公开一种电压控制装置及方法，其属于半导体加工技术领域，其包括有依次相连接的上位机、控制器、功率器和加热器，上位机用于将第一控制信号发送至控制器；电压采集器用于实时检测供电电压值并发送至控制器；控制器用于将供电电压值与设计电压值进行比较，并根据比较结果，调整第二控制信号并发送至功率器；功率器在供电电压和第二控制信号共同作用下，进行电能的输出。本发明通过电压采样器采集供电电压值，与设计电压值比较，如此来调节控制信号，解决了由于供电电压波动所导致的功率器电能输出不稳定问题，尤其适用于RTP设备的加热器，能够使热处理过程中温度曲线更加匹配，从而有助于保证半导体工艺的质量。
主权项：1.一种用于RTP设备的加热器的电压控制装置，其特征在于，包括有依次相连接的上位机、控制器、功率器和加热器，供电电压通过电压采集器与控制器相连接，供电电压还与功率器相连接；其中，上位机用于将第一控制信号发送至控制器；电压采集器用于实时检测供电电压值并发送至控制器；控制器用于将供电电压值与设计电压值进行比较，并根据比较结果，调整第二控制信号并发送至功率器；功率器在供电电压和第二控制信号共同作用下，进行电能的输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛吉盛半导体科技(北京)有限公司 一种用于RTP设备的加热器的电压控制装置及方法
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