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申请/专利权人：长飞光纤潜江有限公司
摘要：本发明涉及一种高效OVD沉积装置及方法，装置包括有沉积腔，沉积腔的一侧与进风腔相连，另一侧与抽风口连通，沉积腔内中部设置有旋转夹持装置，对应旋转夹持装置在进风腔侧安设有沉积喷灯，其特征在于在沉积腔抽风侧两侧对应旋转夹持装置分别安设辅助沉积喷灯。本发明通过设置辅助沉积喷灯使得逃逸的二氧化硅颗粒经过二次沉积再次被粉棒收集，有效提升了OVD沉积的硅料收集率，降低了粉棒生成成本；由于硅料收集率的提高，抽风系统的二氧化硅粉尘大幅减少，降低了二氧化硅粉尘处理成本；通过有效提升了OVD沉积的硅料收集率也同时大幅提高了沉积效率，使得收集率与沉积速率的关系得到良好的平衡。
主权项：1.一种高效OVD沉积装置，包括有沉积腔，沉积腔的一侧与进风腔相连，另一侧与抽风口连通，沉积腔内中部设置有旋转夹持装置，对应旋转夹持装置在进风腔侧安设有沉积喷灯，其特征在于在沉积腔抽风侧两侧对应旋转夹持装置分别安设辅助沉积喷灯。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长飞光纤潜江有限公司 一种高效OVD沉积装置及方法
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