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申请/专利权人：万华化学集团电子材料有限公司
摘要：本发明提供一种具有两类海绵孔的化学机械抛光垫、制备方法及其应用，所述制备方法包括以下步骤：a）将聚氨酯树脂、添加剂溶解在溶剂中配制成涂布浆料；b）将涂布浆料以一定厚度均匀涂布在支撑层上并在烘箱中干燥一段时间；c）随即浸入凝固浴中固化成型；d）水洗烘干后进行压制沟槽并贴合缓冲层、背胶层及离型层得到抛光垫。本发明方法制备的化学机械抛光垫具有两类海绵孔的特定结构，赋予抛光垫较佳的弹性回复，提高抛光材料的表面平坦性，还可提高抛光性能。
主权项：1.一种具有两类海绵孔的化学机械抛光垫的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a将聚氨酯树脂、添加剂溶解在溶剂中配制成涂布浆料；b将涂布浆料以一定厚度均匀涂布在支撑层上并在烘箱中干燥；c随后立即浸入凝固浴中固化成型；d水洗烘干后的抛光层进行压制沟槽并贴合缓冲层、背胶层及离型层得到化学机械抛光垫。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 万华化学集团电子材料有限公司 一种具有两类海绵孔的化学机械抛光垫、制备方法及其应用
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