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申请/专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
摘要：本申请属于半导体设备技术领域，提供一种膜厚测量装置，包括主机台，主机台包括光机模块和运动承载模块，待测样品置于运动承载模块上，光机模块包括光源组件、第一光学组件和第二光学组件，光源组件与第一光学组件组成第一量测系统，与第二光学组件组成第二量测系统，光源组件包括发出第一光的光源模组和将第一光分为多束第二光的分束器，分束器包括第一运动部，第一运动部使第二光入射至第一光学组件或第二光学组件，以实现对待测样品的膜厚测量，有效提高了膜厚测量范围和测量精确度，简化了光学系统布局，提高了光源利用率和设备集成度，降低了成本。本申请还提供一种膜厚测量方法，利用上述膜厚测量装置对待测样品进行膜厚测量。
主权项：1.一种膜厚测量装置，其特征在于，包括主机台，所述主机台包括机台主体以及位于所述机台主体内的光机模块和运动承载模块，所述运动承载模块用于承载待测样品，并调整所述待测样品的位置，所述光机模块包括光源组件、第一光学组件和第二光学组件，所述光源组件与所述第一光学组件组成第一量测系统，所述光源组件与所述第二光学组件组成第二量测系统；所述光源组件包括发出第一光的光源模组以及用于将所述第一光分束为多束第二光的分束器，所述分束器具有第一输出端口和第二输出端口，并且所述分束器包括第二反射镜和第一运动部，所述第一运动部用于驱动所述第二反射镜运动，以使所述第二光经所述第一输出端口出射至所述第二光学组件，或者经所述第二输出端口出射至所述第一光学组件，以通过所述第一量测系统或所述第二量测系统测量得到所述待测样品的膜厚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 睿励科学仪器(上海)有限公司 一种膜厚测量装置及方法
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