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一种LCSLM像元阵列同步移相波前复原方法及系统 

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申请/专利权人:内蒙古工业大学

摘要:本发明涉及激光干涉波前测量领域,提供一种LCSLM像元阵列同步移相波前复原方法及系统,包括:1、激光器发出激光束经偏振片和扩束准直器后形成线偏振平行光束;2、经分束器后均匀分成两束,一束为参考光,另一束为测试光;3、调整入射线偏振光振动方向与液晶快轴方向一致,并为LCSLM加载像元阵列移相控制图像;4、参考光与测试光再次经过分束器会合后沿相同光路穿过偏振片和成像透镜、产生像元阵列移相干涉图被CCD相机采集;5、对干涉图进行像素合并、重采样后与移相模式匹配;6、利用循环算法分离出四帧移相干涉图;7、采用四步移相算法复原被测波前相位。本发明能实现波前相位的动态、高空间分辨率测量。

主权项:1.一种LCSLM像元阵列同步移相波前复原方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤1、激光器发出的光束经过第一偏振片和扩束准直器后形成线偏振平行光束;步骤2、线偏振光束经分束器后均匀分成两束线偏振光,其中一束入射至反射式LCSLM靶面后形成参考光,另一束入射至被测相位物体后形成测试光;步骤3、为LCSLM加载像元阵列移相控制图像对入射的参考光进行相位调制;步骤4、参考光与测试光原路返回、再次经过分束器会合后沿相同光路穿过第二偏振片和成像透镜、产生像元阵列移相干涉图被CCD相机采集;步骤5、标定干涉区域,使用高斯加权系数对干涉图进行像素合并,干涉图重采样后与移相模式匹配;步骤6、确定移相单元,利用循环算法分离出四帧相移分别为0°、90°、180°、270°的移相干涉图;步骤7、采用四步移相算法复原得到被测波前相位。

全文数据:

权利要求:

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