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申请/专利权人：宁夏润阳硅材料科技有限公司
摘要：本申请涉及一种多晶硅破碎料包装防烫袋水淬系统，五个夹套板密封拼装形成水箱，夹套板为中空结构，且其内间隔设置有多个隔板，以间隔形成多个水道，液氮管道阵列开设有多个通孔，多个液氮管道密封插设于水箱相对的两侧，喷淋装置包括相连的冷水池和喷淋头，喷淋头位于水箱上方，测温台具有硅棒放置座和延伸设置于硅棒放置座上方的第一测温器。能够通过冷却水、置换水以及液氮的方式对水箱内的超纯水温度进行控制，使得水箱内超纯水的温度能够保持稳定且较低，以使水淬后的硅棒温度较低且平均，且还能够通过喷淋装置进一步进行冷却降温，再通过测温台对水淬后的硅棒进行测温，以进一步确定硅棒的温度较低，只有在硅棒温度较低时才进入下一工序。
主权项：1.一种多晶硅破碎料包装防烫袋水淬系统，具有用于搬运硅棒的机械手，其特征在于，包括水箱（100）、喷淋装置（200）和测温台（300），所述水箱（100）包括五个夹套板（110）和多个液氮管道（120），所述夹套板（110）为中空结构，且其内间隔设置有多个隔板（111），以间隔形成多个水道（112），所述水道（112）的两端分别设置有冷却水进口（113）和冷却水出口（114），五个所述夹套板（110）密封拼装形成所述水箱（100），所述水箱（100）相对的两侧分别设置有置换水进口（115）和置换水出口（116），所述液氮管道（120）阵列开设有多个通孔（121），多个所述液氮管道（120）密封插设于所述水箱（100）相对的两侧，且多个所述通孔（121）均位于所述水箱（100）内，所述喷淋装置（200）包括相连的冷水池（210）和喷淋头（220），所述喷淋头（220）位于所述水箱（100）上方，所述测温台（300）具有硅棒放置座（310）和延伸设置于所述硅棒放置座（310）上方的第一测温器（320），所述测温台（300）与所述水箱（100）间隔设置。
全文数据：
权利要求：
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