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申请/专利权人：南京华易泰电子科技有限公司
摘要：本实用新型提出一种利用超高水压和CO2的水喷射清洁系统，包括超纯水供应罐以及二氧化碳供应罐，超纯水供应罐的出水口与水射器的进水口通过管路连通，二氧化碳供应罐的出气口与水射器的进气口通过管路连通，该利用超高水压和CO2的水喷射清洁系统，超纯水和二氧化碳通过管路进入水射器内，通过水射器使得超纯水和二氧化碳混合均匀形成清洗水，清洗水进入缓冲罐实现缓冲，使得清洗水中超纯水和二氧化碳混合不均匀部分充分混合，同时避免二氧化碳和超纯水分离，清洗水在高压泵作用下由缓冲罐进入主过滤器内过滤，过滤后的清洗水通过管路进入喷淋组件，对玻璃基板进行有效冲洗，避免污染物吸附在玻璃基板表面而对玻璃基板造成二次污染。
主权项：1.一种利用超高水压和CO2的水喷射清洁系统，其特征在于，包括超纯水供应罐以及二氧化碳供应罐，所述超纯水供应罐的出水口与水射器1的进水口通过管路连通，所述二氧化碳供应罐的出气口与水射器1的进气口通过管路连通，所述水射器1的出水口与缓冲罐2的进水口通过管路连通，所述缓冲罐2的出水口与高压泵3的进水口通过管路连通，所述高压泵3的出水口与主过滤器4的进水口通过管路连通，所述主过滤器4的出水口与喷淋组件5的进水口通过管路连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京华易泰电子科技有限公司 一种利用超高水压和CO2的水喷射清洁系统
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