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申请/专利权人:清华大学深圳国际研究生院;北京理工大学
摘要:本发明公开了一种用于可变形镜离轴反射系统的定心装调装置及装调方法,包括第二激光光源、第一复消色差双胶合透镜、第二复消色差双胶合透镜、第三复消色差双胶合透镜、半透半反镜、分光棱镜和图像传感器,所述定心装调装置与第一激光光源和目标反射镜组成如下光路:准直光路,并在图像传感器上形成第一光斑;测量光路,并在图像传感器上形成第二光斑;其中所述目标反射镜可以跟根据需要设置为参考镜或待调镜。本发明实现了以光路光轴为参考的复杂离轴反射系统定曲率中心和定参考光轴的桌面集成化,通过检测光斑辅助实现解决复杂面型的桌面可变形镜的准确定轴定心的问题,从而实现桌面型小口径离轴反射系统的校准。
主权项:1.一种用于可变形镜离轴反射系统的定心装调装置,包括第二激光光源、第一复消色差双胶合透镜、第二复消色差双胶合透镜、第三复消色差双胶合透镜、半透半反镜、分光棱镜和图像传感器,其特征在于,所述定心装调装置与第一激光光源及目标反射镜组成如下光路:准直光路,光由第一激光光源发出,依次经过半透半反镜、分光棱镜、第二复消色差双胶合透镜,经目标反射镜的180°反射后,经过第二复消色差双胶合透镜到达分光棱镜,经分光棱镜的90°反射后经过第三复消色差双胶合透镜到达图像传感器,并在其上形成第一光斑;测量光路,光由第二激光光源发出,经过第一复消色差双胶合透镜后再经半透半反镜90°反射后依次经过分光棱镜、第二复消色差双胶合透镜,经目标反射镜180°反射后,经过第二复消色差双胶合透镜7到达分光棱镜,经分光棱镜的90°反射后经过第三复消色差双胶合透镜到达图像传感器,并在其上形成第二光斑;其中所述目标反射镜可以跟根据需要设置为参考镜或待调镜。
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权利要求:
百度查询: 清华大学深圳国际研究生院 北京理工大学 用于可变形镜离轴反射系统的定心装调装置及校准方法
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