龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2019-05-03
公开（公告）日：2024-10-11
公开（公告）号：CN112136204B
专利技术分类：......机械处理，例如研磨、抛光、切割[2006.01]
专利摘要：提供用于在选择性沉积工艺之后去除残留物的方法。在一个实施方式中，所述方法包括执行选择性沉积工艺以在基板的第一位置处形成含金属的介电材料，以及执行残留物去除工艺以从所述基板的第二位置去除残留物。
专利权项：1.一种用于从基板去除残留物的方法，包括：执行选择性沉积工艺以在基板的第一位置处形成含金属的介电材料，所述第一位置包括覆盖层的表面和粘合剂层的表面，所述覆盖层嵌入在所述粘合剂层中，所述粘合剂层嵌入在设置于所述基板上的绝缘层中；以及执行残留物去除工艺以从所述基板的第二位置去除残留物而不损坏所述含金属的介电材料，其中所述残留物去除工艺包括化学机械研磨工艺。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号