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薄膜去除装置及薄膜去除方法专利

发布时间:2023-10-08 17:55:48 来源:龙图腾网 导航: 龙图腾网> 最新专利技术> 薄膜去除装置及薄膜去除方法

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申请/专利权人:韩商未来股份有限公司

申请日:2021-02-20

公开(公告)日:2023-09-29

公开(公告)号:CN113681163B

专利技术分类:.除掉材料(B23K26/55,B23K26/57优先)[2014.01]

专利摘要:本发明的实施例提供薄膜去除装置及薄膜去除方法。本发明一个实施例的薄膜去除装置包括:膜附着装置,所述膜附着装置在配置于被加工物的薄膜上附着保护膜;激光加工单元,所述激光加工单元照射激光束,将所述薄膜与所述保护膜从所述被加工物一体分离;及膜去除单元,所述膜去除单元使所述薄膜从所述被加工物脱离。

专利权项:1.一种薄膜去除装置,包括:膜附着装置,所述膜附着装置在配置于被加工物的薄膜上附着保护膜;激光加工单元,所述激光加工单元照射激光束,将所述薄膜与所述保护膜从所述被加工物一体分离;及膜去除单元,所述膜去除单元使所述薄膜从所述被加工物脱离,其中,从平面观察时,所述激光加工单元将所述激光束照射于所述薄膜的内侧区域,使所述薄膜从所述被加工物的上面翘起,然后沿着所述薄膜的边缘照射所述激光束,使所述薄膜的边缘从所述被加工物的上面分离,以及其中,所述膜去除单元在把持所述保护膜的端部的状态下,向预先设置的方向移动,使所述薄膜与所述保护膜从所述被加工物一体脱离。

百度查询: 韩商未来股份有限公司 薄膜去除装置及薄膜去除方法

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