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申请/专利权人:深圳大学
摘要:本发明公开了一种同时感知光热力的电子皮肤及其制备方法,同时感知光热力的电子皮肤包括:依次设置的衬底、底电极、稀土元素掺杂的压电材料层以及顶电极;所述稀土元素掺杂的压电材料层包括:基层和设置于所述基层的若干个金字塔结构,所述金字塔结构位于所述底电极和所述基层之间;所述稀土元素掺杂的压电材料层的稀土元素掺杂的压电材料选自镨铒掺杂的ZnO或镨铒掺杂的NaNbO3。镨铒掺杂的ZnO或镨铒掺杂的NaNbO3可以同时具有感知光、热以及力的功能,形成更加真实的电子皮肤。
主权项:1.一种同时感知光热力的电子皮肤,其特征在于,包括:依次设置的衬底、底电极、稀土元素掺杂的压电材料层以及顶电极;所述稀土元素掺杂的压电材料层包括:基层和设置于所述基层的若干个金字塔结构,所述金字塔结构位于所述底电极和所述基层之间;所述稀土元素掺杂的压电材料层的稀土元素掺杂的压电材料选自镨铒掺杂的ZnO或镨铒掺杂的NaNbO3。
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权利要求:
百度查询: 深圳大学 一种同时感知光热力的电子皮肤及其制备方法
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