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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明公开一种用于靶材的放置机构，包括载具、支撑层、多个滚珠及多个弹性件。载具开设有敞口腔及与敞口腔连通的多个透气孔，多个透气孔位于敞口腔的底部；支撑层设置于敞口腔的底部，支撑层贯穿开设有多个安装孔；每一滚珠均可转动地设置于对应的一安装孔，多个滚珠能够共同支撑靶材；多个弹性件沿敞口腔截面的周长方向间隔布设于敞口腔的侧壁，弹性件远离侧壁的一端与靶材的侧边相抵接。在烧结过程中，由于滚珠能够转动，能够有效地避免平面靶材发生粘连，同时弹性件使得平面靶材收缩过程中四周受力均匀，确保平面靶材平整，可以有效地避免平面靶材开裂和弯曲，提高平面靶材烧结的质量。本发明还公开一种用于靶材的烧结方法及烧结设备。
主权项：1.一种用于靶材的放置机构，其特征在于，包括：载具，开设有敞口腔及与所述敞口腔连通的多个透气孔，多个所述透气孔位于所述敞口腔的底部；支撑层，设置于所述敞口腔的底部，所述支撑层贯穿开设有多个安装孔；多个滚珠，每一所述滚珠均可转动地设置于对应的一所述安装孔，多个所述滚珠能够共同支撑靶材；多个弹性件，沿所述敞口腔截面的周长方向间隔布设于所述敞口腔的侧壁，且每一所述侧壁至少设有一个所述弹性件，所述弹性件远离所述侧壁的一端用于与所述靶材的侧边相抵接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 用于靶材的放置机构、烧结方法及烧结设备
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