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申请/专利权人：中国科学技术大学

摘要：本发明公开了一种用于原位表征实验的流延成膜装置，包括主体装置，主体装置包括：成膜腔体；钢带传动系统；探测器组件；倾斜旋转平台，成膜腔体设置在倾斜旋转平台上，倾斜旋转平台可向两侧倾斜；底部运动平台，底部运动平台包括支撑底座组件和滑动框架组件，滑动框架组件可滑动地设置在支撑底座组件上，倾斜旋转平台可倾斜旋转地设置在滑动框架组件上。本发明通过倾斜旋转平台的倾斜使X射线入射到流延膜表面，通过滑动框架组件的滑动使成膜腔体整体移动，以使X射线入射到流延膜的不同点位，本发明实现了对水平布置的钢带传动系统的原位表征实验，从而获取流延成膜过程的结构演化信息，有助于优化流延成膜工艺，开发新的薄膜产品。

主权项：1.一种用于原位表征实验的流延成膜装置，其特征在于，包括主体装置1，所述主体装置1包括：成膜腔体14；钢带传动系统15，所述钢带传动系统15包括钢带156、主动转毂152、从动转毂153，所述钢带156、所述主动转毂152、所述从动转毂153设置于所述成膜腔体14内，所述钢带156绕在所述主动转毂152和所述从动转毂153上，所述成膜腔体14上设置有入光检测窗口1405和出光检测窗口1406，所述入光检测窗口1405和所述出光检测窗口1406分设在所述钢带156的带宽方向上的两侧，所述入光检测窗口1405与X射线光源同侧，X射线光源的X射线通过所述入光检测窗口1405射入到所述钢带156的流延膜上而发生散射，散射光线通过所述出光检测窗口1406射出；探测器组件11，所述探测器组件11包括探测器117，所述探测器117与所述出光检测窗口1406同侧，所述探测器117接收从所述出光检测窗口1406射出的散射光线，所述探测器117相对于所述成膜腔体14固定；倾斜旋转平台12，所述成膜腔体14设置在所述倾斜旋转平台12上，所述倾斜旋转平台12可向所述钢带156的带宽方向上的两侧倾斜；底部运动平台10，所述底部运动平台10包括支撑底座组件100和滑动框架组件102，所述滑动框架组件102可滑动地设置在所述支撑底座组件100上，所述滑动框架组件102的滑动方向与所述钢带156的传动方向平行，所述倾斜旋转平台12可倾斜旋转地设置在所述滑动框架组件102上。

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百度查询： 中国科学技术大学 一种用于原位表征实验的流延成膜装备