龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：泉意光罩光电科技(济南)有限公司
摘要：本申请公开了一种纳米针组件及光罩微粒去除装置，涉及半导体技术领域。纳米针组件包括驱动件和多个呈线阵排布的纳米去污件，每个纳米去污件包括套筒以及设置于套筒相对两端的纳米针和清洁件，驱动件用于将线阵前端的纳米去污件搬运至线阵尾端，以在线阵尾端通过一个纳米去污件的清洁件对相邻的另一纳米去污件的纳米针清洁。其能够简化纳米针的清洁步骤，提高清洁效率。
主权项：1.一种纳米针组件，其特征在于，包括驱动件和多个呈线阵排布的纳米去污件，每个所述纳米去污件包括套筒以及设置于所述套筒相对两端的纳米针和清洁件，所述驱动件用于将所述线阵前端的所述纳米去污件搬运至所述线阵尾端，以在所述线阵尾端通过一个所述纳米去污件的清洁件对相邻的另一所述纳米去污件的纳米针清洁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 泉意光罩光电科技(济南)有限公司 一种纳米针组件及光罩微粒去除装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号