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申请/专利权人：浙江富乐德石英科技有限公司;浙江理工大学
摘要：本发明公开了一种β‑Ga2O3Lu2O3异质结自供电深紫外探测器及制备方法，依次包括石英衬底，剥离法获得的单晶β‑Ga2O3微米线，位于单晶β‑Ga2O3微米线上的Lu2O3薄膜层，位于Lu2O3薄膜层上的第一测试电极，以及位于单晶β‑Ga2O3微米线上的第二测试电极，所述单晶β‑Ga2O3微米线与Lu2O3薄膜层接触面形成β‑Ga2O3Lu2O3核壳异质结，构成内建电场，以分离光生载流子。本发明的探测器可在0V偏压下工作，具有自供电工作的特点，灵敏度高，响应速度快，可实现对波长小于280nm的深紫外光的有效探测。
主权项：1.一种β-Ga2O3Lu2O3异质结自供电深紫外探测器，其特征在于，该探测器包括石英衬底1、单晶β-Ga2O3微米线2、Lu2O3薄膜层3、第一测试电极4、第二测试电极5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江富乐德石英科技有限公司 浙江理工大学 一种β-Ga2O3/Lu2O3异质结自供电深紫外探测器及其制备方法
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