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申请/专利权人：昕诺飞控股有限公司
摘要：本发明提供了一种光生成系统1000，该光生成系统包括n1个光生成设备100和光学器件400，其中：该n1个光生成设备100被配置为生成具有从100nm至380nm的波长范围内选择的波长的设备光101；其中n1≥1；其中该n1个光生成设备100包括一个或多个激光设备；该光生成设备100和该光学器件400被配置为生成设备光101的k1个光束105，其中每个光束105具有第一光束角度θ1和与该第一光束角度垂直的第二光束角度θ2，其中该第一光束角度θ1和该第二光束角度θ2由该光束105的半高全宽限定，其中该第一光束角度θ1和该第二光束角度θ2中的一个光束角度从至少5°的范围内选择，并且该第一光束角度θ1和该第二光束角度θ2中的另一光束角度从最大2°的范围内选择；其中k1≥1；以及该光生成系统1000可以被配置为生成包括设备光101的至少一个光束105的系统光1001。
主权项：1.一种光生成系统1000，所述光生成系统包括n1个光生成设备100和光学器件400，其中：所述n1个光生成设备100被配置为生成具有从100nm至380nm的波长范围内选择的波长的设备光101；其中n1≥1；其中所述n1个光生成设备100包括一个或多个激光设备；所述n1个光生成设备100和所述光学器件400被配置为生成设备光101的k1个光束105，其中每个光束105具有第一光束角度θ1和与所述第一光束角度垂直的第二光束角度θ2，其中所述第一光束角度θ1和所述第二光束角度θ2由所述光束105的半高全宽限定，其中所述第一光束角度θ1和所述第二光束角度θ2中的一个光束角度从至少5°的范围内选择，并且所述第一光束角度θ1和所述第二光束角度θ2中的另一个光束角度从最大2°的范围内选择；其中k1≥1；并且所述光生成系统1000被配置为生成包括设备光101的至少一个光束105的系统光1001；其中所述n1个光生成设备100和所述光学器件400被配置为生成设备光101的径向配置光束105。
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权利要求：
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