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申请/专利权人：西安理工大学
摘要：本申请提出一种直拉硅单晶炉坩埚升降机构中滚珠丝杠的磨损监测方法，属于硅单晶设备故障诊断技术领域。本方法包括以下步骤：在坩埚升降机构上安装拉线编码器和可编程逻辑控制器；利用拉线编码器和可编程逻辑控制器分别在显控端绘制理想旋转圈数和理想位移的第一关系曲线，以及实际旋转圈数和实际位移的第二关系曲线；根据第一关系曲线分别设置第一磨损阈值和第二磨损阈值，将第二关系曲线分别与第一磨损阈值和第二磨损阈值进行比较，并将比较结果进行实时更新，从而实现对滚珠丝杠的磨损情况进行实时监测。本申请能够解决坩埚升降机构中由于对滚珠丝杠的磨损情况监测不及时，导致存在故障风险的问题。
主权项：1.一种直拉硅单晶炉坩埚升降机构中滚珠丝杠的磨损监测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：在坩埚升降机构上安装拉线编码器，所述拉线编码器的拉线与滚珠丝杠连接，所述拉线编码器用于将所述滚珠丝杠的旋转运动转换为电信号；在所述坩埚升降机构的电机输出轴上安装可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器包括脉冲生成器和脉冲计数器，所述脉冲生成器将所述电信号转换为脉冲信号，所述脉冲计数器根据所述脉冲信号记录脉冲数；在所述滚珠丝杠的未磨损状态下，根据所述脉冲计数器记录的理想脉冲数计算所述电机输出轴的第一旋转圈数，利用所述第一旋转圈数依次计算所述滚珠丝杠的理想旋转圈数和所述坩埚升降机构的理想位移，并在显控端绘制所述理想旋转圈数和所述理想位移的第一关系曲线；根据所述第一关系曲线在所述显控端分别确定第一磨损阈值和第二磨损阈值；在所述滚珠丝杠的实际磨损状态下，根据所述脉冲计数器记录的实际脉冲数计算所述电机输出轴的第二旋转圈数，利用所述第二旋转圈数依次计算所述滚珠丝杠的实际旋转圈数和所述坩埚升降机构的实际位移，并在所述显控端绘制所述实际旋转圈数和所述实际位移的第二关系曲线；将所述第二关系曲线分别与所述第一磨损阈值和所述第二磨损阈值进行比较，并将比较结果进行实时更新，实现对所述滚珠丝杠的磨损情况的实时监测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安理工大学 直拉硅单晶炉坩埚升降机构中滚珠丝杠的磨损监测方法
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