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申请/专利权人：杭州欣俊哲微纳科技有限公司
摘要：一种用于激光直接成像光刻设备的低噪音散热通风箱，包括涡流风机、箱体、排风风机，其中，涡流风机用于对光刻设备进行抽真空，箱体用于对涡流风机进行安装，排风风机安装在箱体上，用于对箱体进行抽风，将箱体内的高温空气排放至箱体外，在箱体内设有导风件，涡流风机与导风件适配，导风件用于将流入箱体内空气导流至涡流风机处，排风风机工作时，使得箱体外空气依次流过导风件、涡流风机后流出箱体外，带走涡流风机周围的高温空气，从而通过流入箱体内的空气对涡流风机进行冷却，有效降低涡流风机的工作温度。
主权项：1.一种用于激光直接成像光刻设备的低噪音散热通风箱，其特征在于，包括涡流风机（1），用于对光刻设备进行抽真空；箱体（2），其内设有用于对箱体（2）内空气流动进行导向的导风件（3），涡流风机（1）安装在箱体（2）内，且涡流风机（1）与导风件（3）适配，以通过导风件（3）将空气导流至涡流风机（1）外；排风风机（4），安装在箱体（2）上，用于对箱体（2）进行抽风。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州欣俊哲微纳科技有限公司 一种用于激光直接成像光刻设备的低噪音散热通风箱
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