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申请/专利权人：苏州诚拓智能装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片料盒，包括矩形的底座，还包括设置在底座上的料板，所述底座设置有从下方对料板进行顶升的顶升孔，所述底座四侧均可拆卸设置有至少一个限位件，所述料板位于若干限位件围制而成的区域内，所述限位件包括设置在底座上的挡柱以及设置在挡柱上的柔性隔膜，所述聚柔性隔膜与限位件之间设置有缓冲空隙。优点：料盒的整体结构便于实现对硅片的收容，有效防止硅片收容过程中侧部受损。
主权项：1.一种硅片料盒，包括矩形的底座1，其特征在于：还包括设置在底座1上的料板2，所述底座1设置有从下方对料板2进行顶升的顶升孔，所述底座1四侧均可拆卸设置有至少一个限位件3，所述料板2位于若干限位件3围制而成的区域内，所述限位件3包括设置在底座1上的挡柱31以及设置在挡柱31上的柔性隔膜32，所述聚柔性隔膜32与限位件3之间设置有缓冲空隙301。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州诚拓智能装备有限公司 一种硅片料盒
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