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碳化硅芯片烧结贴合设备 

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申请/专利权人:深圳市杰诺特精密技术有限公司

摘要:本实用新型公开了碳化硅芯片烧结贴合设备,涉及碳化硅芯片技术领域,包括主体结构组件、下模加热组件、上模加热组件、第一压力输出组件、第二压力输出组件、机箱组件和操作控制组件,主体结构组件将下模加热组件、上模加热组件、第一压力输出组件、第二压力输出组件连接成一个整体,所述主体结构组件整体设置在机箱组件的内部,所述机箱组件的箱门的一侧固定连接有操作控制组件。本实用新型中通过主体结构组件,实现精准贴合和便捷取样,通过上模加热组件、下膜加热组件、第一压力输出组件和第二压力输出组件的配合,使得芯片和母材在温度和压力下无缝结合,芯片最终贴合效果好、合格率高,通过机箱组件和操作控制组件的配合,确保操作安全。

主权项:1.碳化硅芯片烧结贴合设备,其特征在于,包括主体结构组件100、下模加热组件200、上模加热组件300、第一压力输出组件400、第二压力输出组件500、机箱组件600和操作控制组件700,所述主体结构组件100将下模加热组件200、上模加热组件300、第一压力输出组件400、第二压力输出组件500连接成一个整体,所述主体结构组件100整体设置在机箱组件600的内部,所述机箱组件600的箱门的一侧固定连接有操作控制组件700。

全文数据:

权利要求:

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