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申请/专利权人:浜松光子学株式会社
摘要:本发明的试样支承体是用于将试样离子化的试样支承体,其包括:基片,其具有以将彼此相对的第一表面和第二表面连通的方式形成的不规则的多孔结构;和至少设置于第一表面的导电层。
主权项:1.一种用于将试样离子化的试样支承体,其特征在于,包括:基片,其具有以将彼此相对的第一表面和第二表面连通的方式形成的不规则的多孔结构;和至少设置于所述第一表面的导电层,所述多孔结构是指空隙在三维上向不规则的方向延伸并且在三维上不规则地分布的结构,所述导电层以不堵塞形成于所述基片的内部的多个路径的第一表面侧的开口的方式设置于所述第一表面上,所述基片由玻璃珠的烧结体形成,所述玻璃珠的平均粒径实质上为50μm。
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