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申请/专利权人：拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司

摘要：本申请提供了一种加热模块和加工设备。加热模块包括两个加热单元，每一加热单元均包括三个分区加热组件和至少三个电极组件，每个分区加热组件用于在通电时产生热量；其中，六个分区加热组件间隔设置且呈环形排列，每个分区加热组件包括两个发热柱组，每一发热柱组包括至少两个发热柱；六个电极组件沿着分区加热组件的排列方向依次间隔排布，每个电极组件的第一端连接于一个发热柱组中的两个发热柱之间，每个电极组件的第二端连接于相邻的另一个发热柱组的两个发热柱之间，使得六个电极组件和六个分区加热组件共同构成环状结构。本申请加热模块提供的温区可达六个，控温精度高，有利于加工设备的温度均匀性。

主权项：1.一种加热模块，其特征在于，包括两个加热单元，两个所述加热单元结构相同且与两个三相电源一一对应；每一所述加热单元均包括三个分区加热组件和至少三个电极组件，三个所述电极组件与相应的所述三相电源中的三相一一对应连接，每个所述分区加热组件用于在通电时产生热量；其中，六个所述分区加热组件间隔设置且呈环形排列，每个所述分区加热组件包括两个发热柱组，每一所述发热柱组包括至少两个发热柱；六个所述电极组件沿着所述分区加热组件的排列方向依次间隔排布，每个所述电极组件位于相邻两个所述发热柱组的中间位置处，每个所述电极组件的第一端连接于一个所述发热柱组中的两个发热柱之间，每个所述电极组件的第二端连接于相邻的另一个所述发热柱组的两个发热柱之间，使得六个所述电极组件和六个所述分区加热组件共同构成环状结构；其中，当每一所述加热单元均包括三个电极组件时，每一所述加热单元的三个所述分区加热组件之间通过导电连接件连接，每一所述分区加热组件的两个所述发热柱组之间通过所述导电连接件连接，使得每个所述加热单元均为星形连接；当每一所述加热单元均包括四个电极组件时，四个所述电极组件中的两个所述电极组件为被两个所述加热单元共用的共用电极组件，两个所述共用电极组件相连接，每一所述分区加热组件的两个所述发热柱组之间通过所述导电连接件连接，使得每个所述加热单元均为三角形连接；所述导电连接件位于所述环状结构轴向上的相对两端，两个所述加热单元的相邻所述导电连接件之间还通过绝缘件连接，位于所述环状结构轴向上的相对两端的所述导电连接件之间还通过加强柱进行连接，所述加强柱同时还将位于所述环状结构轴向上的相对两端的所述绝缘件之间进行连接。

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权利要求：

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