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申请/专利权人：天合光能股份有限公司

摘要：本发明公开了一种扫描电镜样品台，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成，所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面，所述承载模块与底座可拆卸连接，并且所述承载模块的接触面与凸台侧面接触配合。本发明不需要夹具和转轴等较为复杂的部件，即可实现同时装载多个样品、同时多角度测量的目的，兼具平面和截面测试功能，能够减少放真空‑换样‑抽真空的等待时间，提高实验和生产检验中的测试效率，本发明设计简单，易加工，易操作。

主权项：1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面，所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成，所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面并与凸台侧面接触配合，所述承载模块的底面靠近所述凸台的内角为α，其中，α≤90+180度，n为所述凸台的边数，n≥3；所述承载斜面为等腰梯形形状。

全文数据：一种扫描电镜样品台技术领域本发明属于扫描电镜技术领域，具体涉及一种扫描电镜样品台。背景技术扫描电镜是用聚焦得很细的电子束照射被检测的试样表面，利用电子束与物质相互作用激发出的二次电子或背散射电子等进行形貌观察。扫描电镜克服了光学显微镜放大倍率受到光波长限制的弊端，具有放大倍率高、可调范围宽、样品制备简单、景深大、综合分析能力强等优点，是现代固体材料微区形貌和结构分析的最有用仪器之一，广泛应用于教学、科研甚至工业生产中。扫描电镜根据其电子光学系统不同，需要不同的真空度条件，分辨率较高的冷场发射扫描电镜要求真空度为10-8量级左右，热场发射扫描电镜约为10-7量级，即使分辨较低的钨灯丝扫描电镜也需要10-3量级的真空度。因此，抽真空等待时间是造成扫描电镜检测效率低的重要原因之一。对于多试样的检测，通常做法是尽量在一个样品台上制备多个样品，减少频繁抽放真空占用的时间。但是对于一些需要变换角度观测的样品，如光伏器件表面陷光结构、多孔结构材料、材料表面微纳米晶等的观测，效率还有待提高。现有技术中也出现了一些可以实现多角度扫描的电镜平台，但是依然存在诸多不足，例如公告号为CN206460940U的专利文献公开了一种多角度扫描电镜样品台，其只能进行20°、70°的EBSD测试和普通的平面形貌测试。公告号为CN206864432U的专利文献公开了一种多功能扫描电镜样品台，其利用转轴和转动板实现旋转功能，能够测量多角度，但角度变化时需要放真空，不能够同时测量多个不同角度的样品。发明内容为了解决上述问题，本发明提供了一种扫描电镜样品台，不需要夹具或转轴等较为复杂的部件，即可满足多个样品、多角度同时装载在样品台上，以供进行多个样品的多个角度的观测。本发明的技术方案为：一种扫描电镜样品台，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。本发明中承载模块可以有多个，各个承载模块上的承载斜面的倾斜角度可以不同，在使用时，可根据角度需要选择相应的承载模块来承载样品，样品放置于承载模块上时，可以采用多种方式放置于承载面上，例如可以采用导电胶将样品粘贴于承载斜面上，通过将样品与具有不同倾斜角度的不同承载模块相配合，即可实现对多个样品同时进行多个任意角度的扫描电镜测试，节约真空等待时间，提高测试效率。另外，本发明中承载模块与基座之间的可拆卸连接方式有多种，例如可以将承载模块底面与基座之间通过导电胶或螺丝固定。本发明中基座的结构形式有多种，作为优选，所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成，所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面，所述承载模块与底座可拆卸连接，并且所述承载模块的接触面与凸台侧面接触配合。本发明中凸台上也可以放置样品进行测试，本发明中底座的形状可以为圆形，本发明中可以在底座上开着螺纹孔，在承载模块上开设有与螺纹孔尺寸相同且位置对应的螺纹孔，连接时，可以采用沉头螺丝从下往上依次穿过底座和承载模块上的螺纹孔，进而使得承载模块和底座固定在一起，本发明中也可以直接用导电胶将承载模块粘在基座的底座上。承载模块安装在基座上后，其大小不能超出基座。本发明中凸台的结构形式有多种，作为优选，所述凸台的侧面由多个矩形面组成，所述承载模块的接触面与矩形面形状相同。作为优选，所述凸台的横截面为正多边形。本发明中承载模块的结构形式有多种，例如承载模块的侧面可以为梯形或者直角三角形等，作为优选，所述承载模块的底面靠近所述凸台的内角为α，其中，α≤90+180n度，n为所述凸台的边数。作为优选，所述n≥3。作为优选，所述承载斜面的倾斜角度为0～90度。作为优选，所述承载斜面为等腰梯形形状。作为优选，所述承载模块为多个。作为优选，多个承载模块沿着凸台的周向布置。与现有技术相比，本发明的有益效果体现在：本发明可根据角度需要选择相应的承载模块与基座组合，即可实现对多个样品同时进行多个任意角度的扫描电镜测试，解决了扫描电镜样品测试时角度变换困难、耗时的问题，本发明不需要夹具和转轴等较为复杂的部件，即可实现同时装载多个样品、同时多角度测量的目的，兼具平面和截面测试功能，能够减少放真空-换样-抽真空的等待时间，提高实验和生产检验中的测试效率，本发明设计简单，易加工，易操作。附图说明图1为本发明的结构示意图。图2为本发明中基座的结构示意图。图3为本发明中承载模块的第一种实施方式的结构示意图。图4为本发明中承载模块的第二种实施方式的结构示意图。图5为图4中承载模块的俯视方向结构示意图。图6为本发明的俯视方向结构示意图。具体实施方式如图1和图2所示，本发明包括基座100以及至少一个与基座100可拆卸连接的承载模块200，承载模块200带有用于承载样品的承载斜面5。本发明中承载模块200可以有多个，各个承载模块200上的承载斜面5的倾斜角度可以不同，在使用时，可根据角度需要选择相应的承载模块200来承载样品，样品放置于承载模块200上时，可以采用多种方式放置于承载面上，例如可以采用导电胶将样品粘贴于承载斜面5上，通过将样品与具有不同倾斜角度的不同承载模块200相配合，即可实现对多个样品同时进行多个任意角度的扫描电镜测试，节约真空等待时间，提高测试效率。另外，本发明中承载模块200与基座100之间的可拆卸连接方式有多种，例如可以将承载模块200底面与基座100之间通过导电胶或螺丝固定。本发明中基座100的结构形式有多种，例如如图2所示，本发明中基座100由底座1和设置于底座1上的凸台2组成，承载模块200带有与凸台2侧面形状相匹配的接触面，承载模块200与底座1可拆卸连接，并且承载模块200的接触面与凸台2侧面接触配合。本发明中凸台2上也可以放置样品进行测试，本发明中底座1的形状可以为圆形，本发明中可以在底座1上开着螺纹孔4，在承载模块200上开设有与螺纹孔4尺寸相同且位置对应的螺纹孔6，连接时，可以采用沉头螺丝从下往上依次穿过底座1和承载模块200上的螺纹孔，进而使得承载模块200和底座1固定在一起，本发明中也可以直接用导电胶将承载模块200粘在基座100的底座1上。承载模块200安装在基座100上后，其大小不能超出基座100。如图2所示，本发明中凸台2的结构形式有多种，凸台2的侧面由多个矩形面3组成，承载模块200的接触面与矩形面3形状相同，凸台2的横截面可以为正多边形。本发明中承载模块200的结构形式有多种，例如如图3～5所示，承载模块的侧面可以为梯形或者直角三角形等。如图6所示，本发明中承载模块200的底面靠近凸台2的内角为α，其中，α≤90+180n度，n为凸台2的边数，一般情况下，n≥3。承载斜面5的倾斜角度为0～90度，承载斜面5可以为等腰梯形形状。一般情况下，承载模块200为多个，多个承载模块200沿着凸台2的周向布置。

权利要求：1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括基座以及至少一个与基座可拆卸连接的承载模块，所述承载模块带有用于承载样品的承载斜面。2.如权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述基座由底座和设置于底座上的凸台组成，所述承载模块带有与凸台侧面形状相匹配的接触面，所述承载模块与底座可拆卸连接，并且所述承载模块的接触面与凸台侧面接触配合。3.如权利要求2所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述凸台的侧面由多个矩形面组成，所述承载模块的接触面与矩形面形状相同。4.如权利要求2或3所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述凸台的横截面为正多边形。5.如权利要求4所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述承载模块的底面靠近所述凸台的内角为α，其中，α≤90+180n度，n为所述凸台的边数。6.如权利要求5所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述n≥3。7.如权利要求1～3及5～6任一所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述承载斜面的倾斜角度为0～90度。8.如权利要求7所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述承载斜面为等腰梯形形状。9.如权利要求1～3、5、6及8任一所述的扫描电镜样品台，其特征在于，所述承载模块为多个。10.如权利要求9所述的扫描电镜样品台，其特征在于，多个承载模块沿着凸台的周向布置。

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