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申请/专利权人：无锡江松科技股份有限公司

摘要：本发明公开了LPCVD前道硅片运转装置，涉及硅片搬运技术领域。空花篮通过花篮流转装置进入LPCVD前道硅片运转装置，然后硅片入花篮装置将散装的硅片依次送入空花篮中，实现硅片入花篮的动作，花篮入满硅片且下一个花篮没有到位的时候，硅片缓存装置就缓存硅片入花篮装置输送的硅片直至下个空花篮到位，同时实现将硅片入花篮位置的满载花篮搬运至卸片装置位置，卸片装置将花篮中的硅片卸除并移动给装片装置，装片装置将硅片装入硅片小舟，硅片小舟搬运夹爪搬运满载硅片的小舟，并将小舟由水平位置翻转成竖直位置，对接送料跑道将满载硅片的小舟输送至反应炉，上述操作实现了硅片的自动化运转，避免了人工搬运，节约了大量人力物力，大大提高了硅片转运效率。

主权项：1.LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，包括花篮流转装置、硅片入花篮装置、硅片缓存装置、硅片翻转入缓存机械手、卸片装置、装片装置、小舟定位装置、硅片小舟搬运夹爪和对接送料跑道，所述花篮流转装置被配置为接收和输出空花篮，所述硅片入花篮装置被配置为将硅片送入花篮中，所述硅片入花篮装置与所述花篮流转装置对接，所述硅片缓存装置设置在所述硅片入花篮装置上，所述硅片缓存装置被配置为缓存所述硅片入花篮装置输送的硅片，所述硅片翻转入缓存机械手对接所述硅片入花篮装置和所述卸片装置，所述硅片翻转入缓存机械手被配置为搬运和翻转带有硅片的花篮并搬运给所述卸片装置，所述卸片装置被配置为将硅片从花篮中卸除，所述卸片装置与所述装片装置对接，所述装片装置被配置为将硅片转存至硅片小舟中，所述小舟定位装置被配置为固定所述硅片小舟的位置，所述硅片小舟搬运夹爪与所述对接送料跑道对接，所述硅片小舟搬运夹爪被配置为将所述硅片小舟搬运并旋转放置在所述对接送料跑道上；所述硅片小舟搬运夹爪，包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部，所述旋转部包括旋转动力装置和安装板，所述旋转动力装置的动力端与所述安装板连接，所述夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块，所述夹紧块连接在所述夹紧动力传输部的一端，所述夹紧动力装置连接在所述夹紧动力传输部的一端，所述夹紧动力装置安装在所述安装板上，所述抵接部包括抵接板、抵接动力装置，所述抵接动力装置的固定端固定在所述安装板上，所述抵接动力装置的活动端与所述抵接板一端铰接，所述抵接板与所述安装板铰接，所述托举部包括托举板，所述托举板设置在所述夹紧块上；所述夹紧动力传输部包括载板、连接板、三角板，所述载板与所述安装板固定连接，所述连接板通过滑轨滑块可活动的安装在所述载板上，所述夹紧动力装置的固定端固定在所述载板上，所述夹紧动力装置的活动端与所述三角板的第一个角点铰接，所述三角板的第二个角点与所述载板铰接，所述载板对应所述三角板的第三个角点开设有腰孔，所述三角板的第三个角点上设有滚轮，所述滚轮安装在所述腰孔内；所述旋转动力装置包括旋转气缸、第一连杆和第二连杆，所述旋转气缸的固定端固定在所述安装板上，所述旋转气缸的活动端与所述第一连杆的一端铰接，所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端铰接，所述第二连杆的另一端与所述安装板铰接。

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