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申请/专利权人：中国科学院福建物质结构研究所

摘要：本发明公开了一种振镜校正系统及振镜校正方法，属于激光振镜扫描技术领域，能够解决现有振镜校正系统校正精度较低的问题。所述系统包括控制模块，激光模块、振镜模块、图像采集模块和标靶；激光模块用于向振镜模块提供激光束；控制模块用于控制振镜模块利用激光束在标靶上扫描出标记点；图像采集模块用于采集标记点的图像；控制模块还用于根据标记点的图像获取标记点的实际坐标和坐标偏差值，并根据标记点的实际坐标和坐标偏差值获取第一校正参数，并利用第一校正参数校正振镜模块。本发明用于振镜系统的校正。

主权项：1.一种振镜校正系统，其特征在于，所述系统包括控制模块、激光模块、振镜模块、图像采集模块和标靶；所述激光模块用于向所述振镜模块提供激光束；所述控制模块用于控制所述振镜模块利用所述激光束在所述标靶上扫描出标记点；所述图像采集模块用于采集所述标记点的图像；其中，所述控制模块包括工控机和云端服务器；所述工控机用于根据所述标记点的图像获取所述标记点的实际坐标和坐标偏差值，并将所述标记点的实际坐标和所述坐标偏差值上传到所述云端服务器；所述云端服务器用于根据所述标记点的实际坐标和所述坐标偏差值，利用机器学习算法获取第一校正参数，并将所述第一校正参数传输给所述工控机；所述工控机还用于根据所述第一校正参数校正所述振镜模块；所述工控机还用于控制校正后的振镜模块在所述标靶上扫描出校正后标记点；所述图像采集模块还用于采集所述校正后标记点的图像；所述工控机还用于根据所述校正后标记点的图像获取所述校正后标记点的实际坐标和校正后坐标偏差值，并将所述校正后标记点的实际坐标和所述校正后坐标偏差值上传到所述云端服务器；所述云端服务器还用于根据所述校正后坐标偏差值修正所述机器学习算法，并根据所述校正后标记点的实际坐标和所述校正后坐标偏差值，利用修正后的机器学习算法获取第二校正参数，并将所述第二校正参数传输给所述工控机；所述工控机用于根据第二校正参数再次校正所述振镜模块；所述系统还包括平移台，所述图像采集模块设置在所述平移台上，所述平移台用于带动所述图像采集模块移动，以使所述图像采集模块分别采集每个所述标记点的图像；所述系统还包括温度检测模块，所述温度检测模块用于检测所述振镜模块的工作温度；所述系统还包括计时模块，所述计时模块用于统计所述振镜模块的工作时长。

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权利要求：

百度查询： 中国科学院福建物质结构研究所 一种振镜校正系统及振镜校正方法