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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要：本申请提供一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件与安装架连接并位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为0°‑180°，安装架具有第一通孔；延伸件有两个，两个延伸件上下设置在安装架上且倾斜角a相同或者不相同，延伸件中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件反射后穿过第一通孔到达外层玻璃，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。

主权项：1.一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，其特征在于，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃（1）、安装架（2）和延伸件（3），所述外层玻璃（1）固定在腔体门上，所述安装架（2）固定在腔体门上，所述延伸件（3）与安装架（2）连接，延伸件（3）位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件（3）与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为0°-180°，安装架（2）具有第一通孔（21）；延伸件（3）有两个，两个延伸件（3）上下设置在安装架（2）上，两个延伸件（3）的倾斜角a相同或者不相同，延伸件（3）中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件（3）反射后穿过第一通孔（21）到达外层玻璃（1），因此人眼在外层玻璃（1）的外侧能够观察主腔体内部的情况，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件（3）阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔（21），镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，当观察窗结构的上方延伸件（31）的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb时，延伸件（3）起到反射光线方便人眼观察主腔体内情况和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔（21）的双重作用；当观察窗结构的上方延伸件（31）的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L×cotb时，延伸件（3）起到反射光线方便人眼观察主腔体内情况的作用，并且此时需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面最左侧点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为c,坩埚内的蒸镀材料的表面最左侧点与腔体门之间的距离为L1，观察窗结构的上方延伸件（31）的最高点与主腔体底板之间的距离大于H+L1×cotc，当观察窗结构的上方延伸件（31）的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb时，下方延伸件（32）的下表面和上方延伸件（31）的下表面阻挡蒸发的蒸镀材料，并且此时需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件（32）的最高点之间连线，该连线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件（32）的长度为M，上方延伸件（31）和下方延伸件（32）在安装架（2）上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd，所述腔体门上设置有通孔，外层玻璃（1）固定在腔体门通孔相对应的位置，外层玻璃（1）固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上、或者固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上、或者固定在腔体门通孔的内部，所述观察窗结构还包括中空固定件（4），中空固定件（4）用于将外层玻璃（1）与腔体门固定，中空固定件（4）通过螺丝与腔体门固定，中空固定件（4）的中空部分的形状与外层玻璃（1）的形状相同。

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