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申请/专利权人：江苏迈纳德微纳技术有限公司

摘要：本发明涉及一种原子层沉积实验机的结构改进，特别涉及一种新型原子层沉积实验机，可以通过各结构的优化，从而最大程度保证工艺稳定性；包括外腔体、等离子发生器、进气管、排气管和内腔体；所述等离子发生器安装在外腔体顶部并与内腔体连通，所述进气管通过匀气装置与内腔体连通，所述内腔体通过排气管与外部连通，其特征在于，还包括上部接头和锥形进气管，所述上部接头穿过外腔体的顶部并与等离子发生器连通，所述锥形进气管位于内腔体中并与上部接头可拆式连接，还包括快速连接件，所述快速连接件将锥形进气管和匀气装置与内腔体可拆式连接，所述匀气装置可以为多个且保持相互堆叠，所述进气管通过快拆接头与匀气装置可拆式连接。

主权项：1.一种原子层沉积实验机，其特征在于，包括外腔体（1）、等离子发生器（2）、进气管（3）、排气管（4）和内腔体（5）；所述等离子发生器（2）安装在外腔体（1）顶部并与内腔体（5）连通，所述进气管（3）通过匀气装置（6）与内腔体（5）连通，所述内腔体（5）通过排气管（4）与外部连通，其特征在于，还包括上部接头（7）和锥形进气管（8），所述上部接头（7）穿过外腔体（1）的顶部并与等离子发生器（2）连通，所述锥形进气管（8）位于内腔体（5）中并与上部接头（7）可拆式连接，还包括快速连接件（9），所述快速连接件（9）将锥形进气管（8）和匀气装置（6）与内腔体（5）可拆式连接，所述匀气装置（6）为多个且保持相互堆叠，所述进气管（3）通过快拆接头与匀气装置（6）可拆式连接；所述内腔体（5）通过定位柱（10）与外腔体（1）连接从而使内腔体（5）位于外腔体（1）的中心位置，所述内腔体（5）的底部设有开口（11），还包括上料盘一（12）、伺服电缸（13）、固定件（14）、连接件（15）和顶杆（16），所述伺服电缸（13）的伸缩端通过万向节（17）与固定件（14）连接，所述固定件（14）安装在外腔体（1）的底部且处于外腔体（1）的中心位置，所述伺服电缸（13）的缸身通过连接件（15）与顶杆（16）的底部连接，所述顶杆（16）穿过外腔体（1）的底部中心位置并与上料盘一（12）连接，所述上料盘一（12）的边缘设有坡口一（18），所述内腔体（5）的底部开口（11）边缘设有坡口二（19），所述上料盘一（12）通过坡口一（18）与内腔体（5）的坡口二（19）处相抵形成密封；所述上料盘一（12）上还设有支撑件一（23）和上料盘二（24），所述上料盘二（24）通过支撑件一（23）安装在上料盘一（12）的中心位置；所述外腔体（1）的侧壁上设有仓门（20）、还包括弧形上料盘（21）和上料滑台一（22），上料滑台一（22）安装在外腔体（1）侧壁上，所述弧形上料盘（21）安装在上料滑台一（22）上且与上料滑台一（22）滑动配合，所述弧形上料盘（21）与仓门（20）高度一致，所述仓门（20）的高度位于内腔体（5）底部至外腔体（1）底部之间，所述弧形上料盘（21）的大小大于上料盘二（24）且小于上料盘一（12）的大小;所述上料盘二（24）与支撑件一（23）之间还设有加热盘（25）;所述快速连接件（9）为螺栓，螺栓依次通过锥形进气管（8）底部并穿过匀气装置（6）后与内腔体（5）顶部螺接;每个匀气装置（6）包括匀气盘（26）和匀气环（27），所述匀气环（27）位于匀气盘（26）内部，匀气盘（26）与进气管（3）连通，匀气环（27）上设有均匀排列的气孔，所述匀气环（27）与匀气盘（26）可拆式连接;所述的匀气盘（26）和匀气环（27）均为多片弧形片（28）拼装形成;所述内腔体（5）底部可拆式连接有散流装置（29），排气管（4）与散流装置（29）可拆式连接；所述散流装置（29）包括设有用于排气的散流环（37）和散流壳体（38），所述散流环（37）上设有多个均匀排列的散流孔（39），所述散流环（37）与散流壳体（38）可拆式连接，所述散流壳体（38）与内腔体（5）底部可拆式连接，所述散流环（37）也与散流壳体（38）可拆式连接。

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