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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种电感器及其形成方法，其中，电感器包括：衬底，所述衬底包括工作区；位于所述工作区内的掺杂层，所述掺杂层的表面图形为中心对称图形；位于所述掺杂层上的第一屏蔽结构，所述第一屏蔽结构在衬底表面的投影图形在所述工作区的范围内，且所述第一屏蔽结构在衬底表面的投影图形与掺杂层在衬底表面的投影图形至少部分不重合；位于所述第一屏蔽结构上的电感线圈。所述电感器及其形成方法减小了电感器的能量损耗，提升了电感器的品质因数Q。
主权项：1.一种电感器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底包括工作区；位于所述工作区内的掺杂层，所述掺杂层的表面图形为中心对称图形；位于所述掺杂层上的第一屏蔽结构，所述第一屏蔽结构在衬底表面的投影图形在所述工作区的范围内，且所述第一屏蔽结构在衬底表面的投影图形与掺杂层在衬底表面的投影图形至少部分不重合；位于所述第一屏蔽结构上的电感线圈。
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