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一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器 

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申请/专利权人:武汉敏声新技术有限公司

摘要:本申请提供一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器,涉及谐振器技术领域,包括衬底以及依次设置于衬底上的第一电极、压电层、第二电极和辅助层,在压电层和第二电极之间设置有第一空隙,在第二电极和辅助层之间设置有第二空隙,第一空隙和第二空隙均位于体声波谐振器的有效谐振区域的边界处。这样,体声波谐振器便能够借助第一空隙在有效谐振区域的边界处形成阻抗不匹配,同时体声波谐振器能够借助第二空隙在有效谐振区域的边界处形成阻抗不匹配,用于反射声波。基于第一空隙和第二空隙各自所处的层级位置,因此,两者相互配合能够对声波进行更好的反射,从而能够改善体声波谐振器的机械品质因数,减少体声波谐振器的能量损耗。

主权项:1.一种体声波谐振器,其特征在于,包括衬底以及依次设置于所述衬底上的第一电极、压电层、第二电极和辅助层,在所述压电层和所述第二电极之间设置有第一空隙,在所述第二电极和所述辅助层之间设置有第二空隙,所述第一空隙和所述第二空隙均位于所述体声波谐振器的有效谐振区域的边界处。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 武汉敏声新技术有限公司 一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器

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