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申请/专利权人：大连理工大学;杭州电子科技大学

摘要：本发明公开了一种微纳气泡辅助多能场耦合复杂曲面化学机械抛光装备，包括床身、主轴系统、滚桶系统及数控系统；主轴系统包括用于夹持待抛光工件的夹具和用于调整夹具空间位姿的主轴，滚桶系统的滚桶内加入抛光液；还包括微纳气泡系统和超声系统；微纳气泡系统用于向滚桶内通入微纳气泡；超声系统用于使滚桶系统的滚桶进行超声振动；数控系统连接并控制主轴系统、滚桶系统、微纳气泡系统及超声系统。本发明通过设置微纳气泡系统和超声系统，利用微纳气泡增大抛光液中磨粒与待抛光工件的作用面积，并利用微纳气泡系统和超声系统提高抛光液中磨粒的机械效能和化学效能，促进抛光过程中机械去除与化学腐蚀的协同作用，实现提高抛光效率。

主权项：1.一种微纳气泡辅助多能场耦合复杂曲面化学机械抛光装备，包括：床身（1）、安装在所述床身（1）内的主轴系统（2）、滚桶系统（3）及数控系统（4）；所述主轴系统（2）包括可移动的主轴（21）和连接在其上的夹具（22），所述夹具（22）用于夹持待抛光的工件，所述主轴（21）用于调整所述夹具（22）的空间位姿，使所述待抛光的工件进入到所述滚桶系统（3）的滚桶内预设位置，所述滚桶系统（3）的滚桶内加入抛光液；其特征在于，还包括：安装在所述床身（1）内的微纳气泡系统（5）和超声系统；所述微纳气泡系统（5）用于向所述滚桶系统（3）的滚桶内通入微纳气泡；所述超声系统用于使所述滚桶系统（3）的滚桶进行超声振动；所述数控系统（4）连接并控制所述主轴系统（2）、滚桶系统（3）、微纳气泡系统（5）及超声系统；所述微纳气泡系统（5）包括：微纳气泡发生装置（51）、压力表、流量传感器、第一管路（52）及第一控制阀；所述第一管路（52）两端分别连通所述微纳气泡发生装置（51）和所述滚桶系统（3）的滚桶，所述第一控制阀设在所述第一管路（52）上，所述压力表和流量传感器安装在微纳气泡发生装置（51）上；所述数控系统（4）连接所述微纳气泡发生装置（51）、压力表、流量传感器及第一控制阀，所述数控系统（4）控制所述微纳气泡发生装置（51）和第一控制阀；还包括安装在所述床身（1）内的光源系统（7），所述光源系统（7）产生的光源能够照射所述滚桶系统（3）的滚桶内，以进行光催化，所述数控系统（4）连接并控制所述光源系统（7）。

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