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申请/专利权人：上海探跃半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取对目标晶圆进行拍摄得到的目标图像，根据目标图像建立目标坐标系；根据目标图像识别目标晶圆的尺寸信息，若识别成功则提取目标晶圆的缺口形状特征；确定目标晶圆的目标位置，并根据缺口形状特征确定目标晶圆的目标姿态。本发明公开的晶圆识别定位方法，通过视觉识别的方法，可以提取晶圆的关键特征，进而对晶圆的位置和姿态进行调整，可以适用于多种类型的晶圆，解决了传统光刻机只能单一识别特定类型晶圆的问题。
主权项：1.一种晶圆识别定位方法，其特征在于，包括：获取对目标晶圆进行拍摄得到的目标图像，根据所述目标图像建立目标坐标系；根据所述目标图像识别所述目标晶圆的尺寸信息，若识别成功则提取所述目标晶圆的缺口形状特征；确定所述目标晶圆的目标位置，并根据所述缺口形状特征确定所述目标晶圆的目标姿态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海探跃半导体设备有限公司 一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质
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