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申请/专利权人：之江实验室
摘要：本发明公开了化合物作为双光子引发剂的应用、双光子光刻胶及其图案化方法。本发明提供了化合物g、化合物h、化合物i中的一种作为双光子引发剂的应用。所述双光子光刻胶按质量百分数计，包括0.1~5.0%猝灭剂、0.1~2.5%双光子引发剂和92.5~99.8%树脂单体；所述的猝灭剂选自含有氮氧自由基的有机物；所述的双光子引发剂为以下化合物a‑i中的一种。本发明提供了上述双光子光刻胶的图案化方法。本发明提供化合物g‑h作为双光子引发剂的应用。本发明利用飞秒激光直写技术提供一种能高效的驱动光促进到光抑制的双光子光刻胶及图案化方法，实现了飞秒激光的刻写速度、光刻精度、分辨率及三维加工能力的多方面提升。
主权项：1.化合物作为双光子引发剂的应用，其特征在于：所述化合物选自下述化合物g、化合物h、化合物i中的一种； 。
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权利要求：
百度查询： 之江实验室 化合物作为双光子引发剂的应用、双光子光刻胶及其图案化方法
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