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申请/专利权人：上海固玺科技有限责任公司
摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，公开了一种用于MPCVD设备的扶正模块和具有扶正模块的MPCVD设备，包括对称设置的支撑部，所述支撑部包括一体成型的弧形边和径向延伸边，所述径向延伸边的中部一体成型有安装块，所述安装块上设有弧形对接槽，所述弧形对接槽与基片台的铜台冷却管贴合，两个支撑部之间设有锁紧件，所述锁紧件将两个安装块固定在基片台的铜台冷却管的两侧，所述弧形边与真空下反应腔体的内侧壁垂直滑动配合；本实用新型提供的一种用于MPCVD设备的扶正模块和具有扶正模块的MPCVD设备，解决了现有的基片台上下调节的过程中容易摩擦到真空下反应腔体，导致真空下反应腔体损伤的问题。
主权项：1.一种用于MPCVD设备的扶正模块，其特征在于：包括对称设置的支撑部，所述支撑部包括一体成型的弧形边和径向延伸边，所述径向延伸边的中部一体成型有安装块，所述安装块上设有弧形对接槽，所述弧形对接槽与基片台的铜台冷却管贴合，两个支撑部之间设有锁紧件，所述锁紧件将两个安装块固定在基片台的铜台冷却管的两侧，所述弧形边与真空下反应腔体的内侧壁垂直滑动配合。
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权利要求：
百度查询： 上海固玺科技有限责任公司 一种用于MPCVD设备的扶正模块和具有扶正模块的MPCVD设备
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