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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
摘要：本申请提供一种装载杯冲洗装置，用于冲洗化学机械抛光设备中的装载杯，装载杯包括杯体，包括：至少一个立柱，立柱围绕杯体外部设置，立柱靠近杯体的一面设置有喷液口，喷液口通过设置在立柱内部的管路连接至供液部，用于对装载杯杯体内部表面喷洒液体以进行冲洗。本申请能够在晶圆抛光后，对装载杯杯体内部表面残留的化学品，特别是托架上残留的化学品进行冲洗，防止晶圆放置在托架时，残留的化学品会对晶圆产生微腐蚀，造成与托架形状对应的形状缺陷图。装载杯保养不需要人为擦洗，可避免人为手法带来的其他污染，有效降低因装载杯清洗不干净造成产品的缺陷,提升了产品良率。
主权项：1.一种装载杯冲洗装置，用于冲洗化学机械抛光设备中的装载杯，所述装载杯包括杯体，其特征在于，包括：至少一个立柱，所述立柱均匀围绕所述杯体外部设置，所述立柱靠近所述杯体的一面设置有喷液口，所述喷液口通过设置在所述立柱内部的管路连接至供液部，用于对所述装载杯杯体内部表面喷洒液体以进行冲洗。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 一种装载杯冲洗装置
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