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申请/专利权人：南京华东电子真空材料有限公司
摘要：本实用新型属于吸气剂泵领域，具体的说是一种适用于光刻机的极高抽速洁净吸气剂泵，包括密闭石英管，所述密闭石英管装配有加热材料，加热材料装配有引线，密闭石英管装配有安装块，安装块设置有插槽和第一卡孔以及第二卡孔,插槽装配有伸缩弹簧，伸缩弹簧装配有限位板，限位板装配有调节块，调节块装配有竖块，竖块装配有限位套框，限位套框与引线装配，上述一种适用于光刻机的极高抽速洁净吸气剂泵通过限位套框和调节块的配合解决了现有的吸气剂泵在使用中容易产生大幅度的振动，使得引线与密闭石英管之间容易发生弯折，导致引线在密闭石英管上的根部位置发生断裂，不易接线，不便使用的问题。
主权项：1.一种适用于光刻机的极高抽速洁净吸气剂泵，其特征在于：包括密闭石英管（1），所述密闭石英管（1）的内部固定装配有加热材料（4），加热材料（4）为钨，加热材料（4）上固定装配有引线（5），引线（5）的两端贯穿出密闭石英管（1），密闭石英管（1）的上表面和下表面均固定装配有安装块（11），安装块（11）的一端均设置有插槽（12），安装块（11）的表面均设置有第一卡孔（13），第一卡孔（13）与插槽（12）进行连通，安装块（11）的表面均设置有第二卡孔（14），第二卡孔（14）与插槽（12）进行连通，插槽（12）上均固定装配有伸缩弹簧（15），伸缩弹簧（15）的一端均固定装配有限位板（16），限位板（16）上均固定装配有调节块（17），调节块（17）活动贯穿安装块（11），并且调节块（17）上固定装配有竖块（18），竖块（18）的一端固定装配有限位套框（19），限位套框（19）对应与引线（5）进行活动装配。
全文数据：
权利要求：
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