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申请/专利权人：株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
摘要：实施方式的隔离器具备第一电极、第二电极、导电体和第一绝缘层。所述第二电极设置于所述第一电极之上，与所述第一电极分离。所述导电体沿着与从所述第一电极朝向所述第二电极的第一方向垂直的第一面，设置于所述第一电极及所述第二电极的周围。所述第一绝缘层设置于所述第二电极之上，包含硅、碳及氮。
主权项：1.一种隔离器，具备：第一电极；第二电极，设置于所述第一电极之上，与所述第一电极分离；导电体，沿着与从所述第一电极朝向所述第二电极的第一方向垂直的第一面而设置于所述第一电极及所述第二电极的周围；第一绝缘部，设置于所述第一电极与所述第二电极之间；第二绝缘部，设置于所述第一绝缘部之上，沿着所述第一面与所述第二电极接触地设置于所述第二电极的周围；第一绝缘层，设置于所述第二电极以及所述第二绝缘部之上，与所述第二电极以及所述第二绝缘部直接接触，包含硅、碳及氮；以及第二绝缘层，设置于所述第一绝缘部与所述第二绝缘部之间，沿着所述第一面与所述第二电极接触地设置于所述第二电极的周围，所述导电体与所述第一电极电连接，所述导电体包括：第一导电部，沿着所述第一面而设置于所述第一电极的周围；第二导电部，设置于所述第一导电部的一部分之上；以及第三导电部，设置于所述第二导电部之上，沿着所述第一面而设置于所述第二电极的周围。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社东芝 东芝电子元件及存储装置株式会社 隔离器
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