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申请/专利权人：苏州智程半导体科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种超纯水防静电装置，包括：具中空腔体的混合筒，分别设置于混合筒顶端与混合筒底端的出液筒与进液筒；混合筒侧部靠近出液筒一端与靠近进液筒一端分别开设进气口与出气口，并于混合筒内设置至少一个呈螺旋状且侧部开设若干孔洞以仅供气体渗透的管道，出液筒与进液筒分别开设连通管道顶端与管道底端的出液口与进液口。通过本发明，实现了二氧化碳与超纯水的充分溶合，还简化了对碳酸水电导率调节过程，以降低生产制造成本，并保证了电导率调节的准确性。
主权项：1.一种超纯水防静电装置，其特征在于，包括：具中空腔体的混合筒，分别设置于混合筒顶端与混合筒底端的出液筒与进液筒；所述混合筒侧部靠近出液筒一端与靠近进液筒一端分别开设进气口与出气口，并于混合筒内设置至少一个呈螺旋状且侧部开设若干孔洞以仅供气体渗透的管道，出液筒与进液筒分别开设连通管道顶端与管道底端的出液口与进液口；所述进液筒包括：第一环筒，分别设置于第一环筒顶端与第一环筒底端的第一分液块与第一盖体；由所述第一环筒、第一盖体以及第一分液块围合形成供液体容置的第一容置腔，所述第一分液块设置于混合筒底端并形成连通管道的第一连通口，所述进液口形成于第一盖体底端侧部；所述出液筒包括：第二环筒，分别设置于第二环筒顶端与第二环筒底端的第二盖体与第二分液块；由所述第二环筒、第二分液块以及第二盖体围合形成供液体容置的第二容置腔，所述第二分液块设置于混合筒顶端并形成连通管道的第二连通口，所述出液口形成于第二盖体顶端侧部；所述超纯水防静电装置还包括：供液口，连通供液口与进液口的第一管路，设置于所述第一管路的流量调节阀，具混液腔的混液室，连通混液室与供液口的第二管路，连通出液口与混液室的第三管路，供气口，以及连通供气口与进气口的第四管路，以及设置于第四管路的气压调节阀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州智程半导体科技股份有限公司 一种超纯水防静电装置
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